Автор Копорская Дарья Николаевна Научно-Технический Вестник информационных технологий, механики и оптики

2024 , ТОМ 24, НОМЕР 5 ( сентябрь-октябрь )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

Копорская Дарья Николаевна

Место работы: Университет ИТМО

Ткалич В. Л., Гатчин Ю. А., Коробейников А. Г., Копорская Д. Н. Исследование механических и ионных нарушений элементной базы микроэлектроники и микросенсорной техники с помощью эллипсометрии
Статья опубликована в выпуске №5, том 05, 2005

Информация 2001-2024 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.