УДК535.8

МАТЕМАТИЧЕСКАЯ И ПРОГРАММНАЯ ОБРАБОТКА ДАННЫХ СПЕКТРОФОТОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ




Аннотация

Одной из основных задач при осаждении пленок является контроль толщины осаждаемого покрытия. В статье описаны существующие методы и предлагается новый метод контроля.


Ключевые слова:

покрытие, оптические постоянные, контроль, измерение



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика