Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
![](/pic/nikiforov.jpg)
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
УДК 53.084.2
Голубок А.О., Пинаев А.Л., Стовпяга А.В.
Аннотация
ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОЗОНДА ДЛЯ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛИМЕРА МЕТОДОМ ДИНАМИЧЕСКОЙ СИЛОВОЙ ЛИТОГРАФИИ
Аннотация
В работе осуществлена оптимизация колебательной системы датчика СЗМ «NanoEducator» с целью достижения максимального разрешения при получении изображения поверхности образца поликарбоната в режиме полуконтактной моды и для осуществления динамической нанолитографии. Установлены эффективные параметры размеров кантеливера и острия зонда для различных режимов работы. Методом динамической нанолитографии получены поверхностные наноструктуры в соответствии с заданным шаблоном.
Ключевые слова:
сканирующая зондовая микроскопия, литография