ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОКОМПОЗИТНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ И ФОСФАТНОГО СТЕКЛА НА КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖКАХ

Скворцов Альберт Матвеевич, Стройков Илья Игоревич

2008 , ТОМ 08, НОМЕР 6 ( апрель )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОКОМПОЗИТНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ И ФОСФАТНОГО СТЕКЛА НА КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖКАХ

Скворцов А.М., Стройков И.И.

Аннотация

В работе проведены исследования нанокомпозитных пленок на основе кремния, диоксида кремния и фосфатного стекла. Разработана лабораторная технология получения нанокомпозитных пленок. Пленки изготавливались на термически окисленных монокристаллических кремниевых пластинах. Исследованы структурные, а также электрофизические особенности и характеристики, полученных нанокомпозитов.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License