Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
Скворцов Альберт Матвеевич
Место работы: Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация
Должность: профессор
Ученая степень: доктор технических наук, профессор
E-mail: a-skvortsov@yandex.ru
Должность: профессор
Ученая степень: доктор технических наук, профессор
E-mail: a-skvortsov@yandex.ru
Халецкий Р. А., Скворцов А. М., Семенов А. Е., Новиков С. Н., Фролкова Е. Г. Исследование структурных дефектов межслойной изоляции в КМОП ИС
Статья опубликована в выпуске №4, том 03, 2003
Статья опубликована в выпуске №4, том 03, 2003
Фролкова Е. Г., Халецкий Р. А., Скворцов А. М., Семенов А. Е., Новиков С. Н. Исследование пробивных напряжений межслойной изоляции в КМОП ИС
Статья опубликована в выпуске №4, том 03, 2003
Статья опубликована в выпуске №4, том 03, 2003
Халецкий Р. А., Скворцов А. М., Семенов А. М. Исследование структур типа Siп/к -SiO2-Si с окислами, полученными в различных режимах окисления
Статья опубликована в выпуске №4, том 03, 2003
Статья опубликована в выпуске №4, том 03, 2003
Семенов А. М., Халецкий Р. А., Скворцов А. М. Исследование МОП-структур с окислами, полученными при различных режимах окисления
Статья опубликована в выпуске №4, том 03, 2003
Статья опубликована в выпуске №4, том 03, 2003
Скворцов А. М., Стройков И. И. ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОКОМПОЗИТНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ И ФОСФАТНОГО СТЕКЛА НА КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖКАХ
Статья опубликована в выпуске №6, том 08, 2008
Статья опубликована в выпуске №6, том 08, 2008
Скворцов А. М., Пилюгина Ю. А., Толмачев В. А. Химическое микроструктурирование поверхности монокристаллического кремния
Статья опубликована в выпуске №3, том 04, 2004
Статья опубликована в выпуске №3, том 04, 2004
Вейко В. П., Дышловенко С. С., Пилюгина Ю. А., Скворцов А. М. Микроструктурирование поверхности кремниевых пластин с помощью лазера
Статья опубликована в выпуске №3, том 04, 2004
Статья опубликована в выпуске №3, том 04, 2004
Скворцов А. М., Вейко В. П., Хуинь Конг Ту ПРИМЕНЕНИЕ ИМПУЛЬСНОГО ВОЛОКОННОГО ЛАЗЕРА ДЛЯ МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЯ СИСТЕМЫ SiO2/Si
Статья опубликована в выпуске №5, том 12, 2012
Статья опубликована в выпуске №5, том 12, 2012
Скворцов А. М. Структурирование поверхности монокристаллов кремния в
электронной технике
Статья опубликована в выпуске №4, том 05, 2005
Статья опубликована в выпуске №4, том 05, 2005
Скворцов А. М., Халецкий Р. А. Некоторые особенности деградации
МОП-структур под действием γ-излучения
Статья опубликована в выпуске №4, том 05, 2005
Статья опубликована в выпуске №4, том 05, 2005
Скворцов А. М., Соколов В. И., Халецкий Р. А. Исследование гистерезиса
вольт-емкостных характеристик структур кремний-окисел с поликремниевым
затвором при воздействии ионизирующего излучения
Статья опубликована в выпуске №9, том 06, 2006
Статья опубликована в выпуске №9, том 06, 2006
Скворцов А. М., Соколов В. И., Халецкий Р. А., Смирнов Ю. В. Деградация структур
Si-SiO2 с поликремниевым затвором при гамма-облучении в зависимости
от напряжения смещения
Статья опубликована в выпуске №9, том 06, 2006
Статья опубликована в выпуске №9, том 06, 2006
Ткалич В. Л., Гатчин Ю. А., Коробейников А. Г., Папченко Б. П., Скворцов А. М. Программно-
аппаратный комплекс производственно-технологического контроля качества
микро- и наноэлементной базы электроники
Статья опубликована в выпуске №9, том 06, 2006
Статья опубликована в выпуске №9, том 06, 2006
Скворцов А. М., Халецкий Р. А., Хуинь Конг Ту ВЛИЯНИЕ ПРОЦЕССА ЛАЗЕРНОГО МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЯ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ СИСТЕМЫ SiO2/Si
Статья опубликована в выпуске №1, том 13, 2013
Статья опубликована в выпуске №1, том 13, 2013
Скворцов А. М., Хуинь Конг Ту, Халецкий Р. А. МЕХАНИЗМ МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЯ СИСТЕМЫ SiO2/Si ПРИ ОБЛУЧЕНИИ СКАНИРУЮЩИМ ПУЧКОМ ИМПУЛЬСНОГО ВОЛОКОННОГО ЛАЗЕРА
Статья опубликована в выпуске №3, том 13, 2013
Статья опубликована в выпуске №3, том 13, 2013
Вейко В. П., Скворцов А. М., Хуинь Конг Ту, Петров А. А. ЛАЗЕРНАЯ АБЛЯЦИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
ПОД ДЕЙСТВИЕМ ИМПУЛЬСНО-ЧАСТОТНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
ВОЛОКОННОГО ЛАЗЕРА
Статья опубликована в выпуске №3, том 15, 2015
Статья опубликована в выпуске №3, том 15, 2015
Скворцов А. М., Трифонова Т. А., Хуинь Конг Ту МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ
ВОЛОКОННЫМ ЛАЗЕРОМ В РЕЖИМЕ ВЫСОКОСКОРОСТНОГО СКАНИРОВАНИЯ
Статья опубликована в выпуске №6, том 15, 2015
Статья опубликована в выпуске №6, том 15, 2015