ОПТИКО–ГЕОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ИССЛЕДОВАНИЯ НАПРЯЖЕННО-ДЕФОРМИРОВАННЫХ СОСТОЯНИЙ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И МИКРОСЕНСОРНОЙ ТЕХНИКИ

Коробейников Анатолий Григорьевич, Ткалич Вера Леонидовна

2007 , ТОМ 07, НОМЕР 8 ( НОЯБРЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

ОПТИКО–ГЕОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ИССЛЕДОВАНИЯ НАПРЯЖЕННО-ДЕФОРМИРОВАННЫХ СОСТОЯНИЙ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И МИКРОСЕНСОРНОЙ ТЕХНИКИ

Коробейников А.Г., Ткалич В.Л.

Аннотация

На базе поляризационно-оптического метода предлагается оптико-геометрический метод определения напряженно-деформированных состояний элементов микроэлектроники и микросенсорной техники. Статья подготовлена по результатам НИР “Разработка неразрушающих бесконтактных оптических методов исследования стереометрии и внутренних структурных дефектов элементной базы микроэлектроники и микросенсорной техники”

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License