2007 , ТОМ 07, НОМЕР 6 ( ОКТЯБРЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

ИССЛЕДОВАНИЕ КАЧЕСТВА ФОТОЛИТОГРАФИИ В СЛОЯХ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ ЗАТВОРОВ КМОП ИС

Бабков А.С., Лопатнева Н.В.

Аннотация

В работе приведено исследование распределения длины поликремниевого затвора МОП транзисторов по

площади пластин с готовыми КМОП ИС. Рассмотрено влияние различных методов травления, а также

степени лигирования пленки поликремния на изменение геометрии затвора.

Ключевые слова:

КМОП ИС, МОП

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License

Информация 2001-2024 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.