Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
ОЦЕНКА ПОГРЕШНОСТИ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОГО ПОЛЯ
Аннотация
Использование интерференционных измерителей микроперемещений позволяет достичь высокой разре-
шающей способности – до 0,01 длины волны используемого излучения. Целью работы является оценка
погрешности определения параметров интерференционной картины. В работе рассмотрен интерферен-
ционный измеритель микроперемещений, построенный по схеме интерферометра Майкельсона, излуче-
ние которого имеет сферический волновой фронт. Получены аналитические зависимости, позволяющие
по известному уровню шумов оценить величину погрешностей вычисления параметров интерференци-
онной картины. Проведенное исследование позволяет выбрать разрешающую способность фотоэлек-
тронной приемной системы измерителя для обеспечения заданной погрешности измерений величины
микроперемещений.
Ключевые слова:
интерферрационное поле, системный анализ
