ОЦЕНКА ПОГРЕШНОСТИ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОГО ПОЛЯ

, VOLUME , NUMBER ( )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

V. . Boikov, Камнев Д.А., Орешков А.А.

Read the full article

Abstract

Использование интерференционных измерителей микроперемещений позволяет достичь высокой разре-

шающей способности – до 0,01 длины волны используемого излучения. Целью работы является оценка

погрешности определения параметров интерференционной картины. В работе рассмотрен интерферен-

ционный измеритель микроперемещений, построенный по схеме интерферометра Майкельсона, излуче-

ние которого имеет сферический волновой фронт. Получены аналитические зависимости, позволяющие

по известному уровню шумов оценить величину погрешностей вычисления параметров интерференци-

онной картины. Проведенное исследование позволяет выбрать разрешающую способность фотоэлек-

тронной приемной системы измерителя для обеспечения заданной погрешности измерений величины

микроперемещений.

Keywords:

интерферрационное поле, системный анализ