ОЦЕНКА ПОГРЕШНОСТИ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОГО ПОЛЯ

V. Boikov, Камнев Д.А., Орешков А.А.


Read the full article 

Abstract

 

Использование интерференционных измерителей микроперемещений позволяет достичь высокой разре-
шающей способности – до 0,01 длины волны используемого излучения. Целью работы является оценка
погрешности определения параметров интерференционной картины. В работе рассмотрен интерферен-
ционный измеритель микроперемещений, построенный по схеме интерферометра Майкельсона, излуче-
ние которого имеет сферический волновой фронт. Получены аналитические зависимости, позволяющие
по известному уровню шумов оценить величину погрешностей вычисления параметров интерференци-
онной картины. Проведенное исследование позволяет выбрать разрешающую способность фотоэлек-
тронной приемной системы измерителя для обеспечения заданной погрешности измерений величины
микроперемещений.

Keywords:

интерферрационное поле, системный анализ



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Copyright 2001-2019 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика