Menu
Publications
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
ОЦЕНКА ПОГРЕШНОСТИ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОГО ПОЛЯ
Read the full article
';
Abstract
Использование интерференционных измерителей микроперемещений позволяет достичь высокой разре-
шающей способности – до 0,01 длины волны используемого излучения. Целью работы является оценка
погрешности определения параметров интерференционной картины. В работе рассмотрен интерферен-
ционный измеритель микроперемещений, построенный по схеме интерферометра Майкельсона, излуче-
ние которого имеет сферический волновой фронт. Получены аналитические зависимости, позволяющие
по известному уровню шумов оценить величину погрешностей вычисления параметров интерференци-
онной картины. Проведенное исследование позволяет выбрать разрешающую способность фотоэлек-
тронной приемной системы измерителя для обеспечения заданной погрешности измерений величины
микроперемещений.
Keywords:
интерферрационное поле, системный анализ
