Исследование концентраторов механических напряжений и микродеформаций элементной базы микроэлектроники и микросенсорной техники

Ткалич В.Л., Гатчин Ю.А., Коробейников А.Г.



Аннотация

 

В работе рассмотрен вопрос анализа концентраторов механических напряжений и микродеформаций элементной базы микро- и наноэлектроники, в свете современных представлений о возникновения концен-
траторов напряжений в твердом теле.



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика