микро- и наноструктуры, микрофлюидный чип, ионная литография, магнетронное напыление, электронная микроскопия, ионная микроскопия " />
УДК537.533.35+537.534.35

ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ЛИТОГРАФИИ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ КАНАЛОВ МИКРОФЛЮИДНЫХ ЧИПОВ В СТЕКЛЯННЫХ ПОДЛОЖКАХ

Евстрапов А.А., Мухин И.С., Кухтевич И.В., Букатин А.С.


Читать статью полностью 

Аннотация

 

Исследованы режимы травления стекла марки К8, покрытого углеродной, золотой или хромовой пленками. Показа-
но, что минимальный воспроизводимый размер микроканалов, который можно создать сфокусированным ионным
пучком для выбранного материала, составляет 40 нм. Получены экспериментальные прототипы микрофлюидных
чипов с системой наноканалов для фиксации и исследования биологических объектов.

Ключевые слова:

 

микро- и наноструктуры, микрофлюидный чип, ионная литография, магнетронное напыление, электронная микроскопия, ионная микроскопия


Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика