Меню
Публикации
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
УДК 537.533.35+537.534.35
Евстрапов А.А., Мухин И.С., Кухтевич И.В., Букатин А.С.
Читать статью полностью
Аннотация
ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ЛИТОГРАФИИ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ КАНАЛОВ МИКРОФЛЮИДНЫХ ЧИПОВ В СТЕКЛЯННЫХ ПОДЛОЖКАХ
Читать статью полностью
Аннотация
Исследованы режимы травления стекла марки К8, покрытого углеродной, золотой или хромовой пленками. Показа-
но, что минимальный воспроизводимый размер микроканалов, который можно создать сфокусированным ионным
пучком для выбранного материала, составляет 40 нм. Получены экспериментальные прототипы микрофлюидных
чипов с системой наноканалов для фиксации и исследования биологических объектов.
Ключевые слова:
микро- и наноструктуры, микрофлюидный чип, ионная литография, магнетронное напыление, электронная микроскопия, ионная микроскопия
