микро- и наноструктуры, микрофлюидный чип, ионная литография, магнетронное напыление, электронная микроскопия, ионная микроскопия " />
УДК537.533.35+537.534.35

ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ЛИТОГРАФИИ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ КАНАЛОВ МИКРОФЛЮИДНЫХ ЧИПОВ В СТЕКЛЯННЫХ ПОДЛОЖКАХ

Евстрапов А. А., Мухин И. С., Кухтевич И. В., Букатин А. С.


Читать статью полностью 

Аннотация

 

Исследованы режимы травления стекла марки К8, покрытого углеродной, золотой или хромовой пленками. Показа-
но, что минимальный воспроизводимый размер микроканалов, который можно создать сфокусированным ионным
пучком для выбранного материала, составляет 40 нм. Получены экспериментальные прототипы микрофлюидных
чипов с системой наноканалов для фиксации и исследования биологических объектов.

Ключевые слова:

 

микро- и наноструктуры, микрофлюидный чип, ионная литография, магнетронное напыление, электронная микроскопия, ионная микроскопия


Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика