Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
![](/pic/nikiforov.jpg)
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
УДК 537.533.35+537.534.35
Евстрапов А.А., Мухин И.С., Кухтевич И.В., Букатин А.С.
Читать статью полностью
Аннотация
ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ЛИТОГРАФИИ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ КАНАЛОВ МИКРОФЛЮИДНЫХ ЧИПОВ В СТЕКЛЯННЫХ ПОДЛОЖКАХ
Читать статью полностью
![](/images/pdf.png)
Аннотация
Исследованы режимы травления стекла марки К8, покрытого углеродной, золотой или хромовой пленками. Показа-
но, что минимальный воспроизводимый размер микроканалов, который можно создать сфокусированным ионным
пучком для выбранного материала, составляет 40 нм. Получены экспериментальные прототипы микрофлюидных
чипов с системой наноканалов для фиксации и исследования биологических объектов.
Ключевые слова:
микро- и наноструктуры, микрофлюидный чип, ионная литография, магнетронное напыление, электронная микроскопия, ионная микроскопия