ОБ УСТОЙЧИВОСТИ ВОЛЬФРАМОВЫХ ЗОНДОВ 
ПРИ  ФУНКЦИОНИРОВАНИИ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА  В РЕЖИМАХ ДИНАМИЧЕСКОЙ СИЛОВОЙ ЛИТОГРАФИИ 
И  НАНОИНДЕНТИРОВАНИЯ

Голубок Александр Олегович, Пинаев Александр Леонидович, Феклистов Андрей Алексеевич, Чивилихин Сергей Анатольевич

2011 , ТОМ 11, НОМЕР 4 ( ИЮЛЬ-АВГУСТ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

УДК 53.084.2

ОБ УСТОЙЧИВОСТИ ВОЛЬФРАМОВЫХ ЗОНДОВ ПРИ ФУНКЦИОНИРОВАНИИ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА В РЕЖИМАХ ДИНАМИЧЕСКОЙ СИЛОВОЙ ЛИТОГРАФИИ И НАНОИНДЕНТИРОВАНИЯ

Голубок А.О., Пинаев А.Л., Феклистов А.А., Чивилихин С.А.

Читать статью полностью

Аннотация

Проведено исследование устойчивости вольфрамового зонда под действием продольного механического напряжения, возникающего при работесканирующего зондового микроскопав режимах динамической силовой литографии и наноиндентирования. В рамках предложенной теоретической модели получено выражение для критической силы продольного сжатия, превышение которой приводит к потере устойчивости и изгибу зонда. Представлены экспериментальные данные, полученные в сканирующем зондовом микроскопе с пьезорезонансным датчиком силового взаимодействия, демонстрирующие устойчивое и неустойчивое поведение вольфрамового зонда при наноиндентированиии динамической силовой литографии поверхности образца из поликарбоната.

Ключевые слова:

сканирующая зондовая микроскопия, динамическая силовая литография, наноиндентирование, пьезорезонансный зондовый датчик.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License