Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
Никулина Екатерина Алексеевна
Место работы: Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101,
Российская Федерация
Должность: аспирант
E-mail: katerina.nikulina@gmail.com
Должность: аспирант
E-mail: katerina.nikulina@gmail.com
Никулина Е. А., Зверев В. А. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ДВУЛУЧЕПРЕЛОМЛЕНИЯ НА КАЧЕСТВО ИЗОБРАЖЕНИЯ ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКИХ СИСТЕМ ПРИ ЧАСТИЧНО КОГЕРЕНТНОМ ОСВЕЩЕНИИ
Статья опубликована в выпуске №2, том 15, 2015
Статья опубликована в выпуске №2, том 15, 2015