Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
Томас Лижо
Место работы: Исследовательский центр CERVO, Квебек, G1J 2G3, Канада
Должность: научный сотрудник
Ученая степень: кандидат технических наук
E-mail: lijothomas465@gmail.com
ORCID: 0000-0002-9490-8903
Должность: научный сотрудник
Ученая степень: кандидат технических наук
E-mail: lijothomas465@gmail.com
ORCID: 0000-0002-9490-8903
Зорич Н. Д., Томас Л., Смирнова И. Г.
Статья опубликована в выпуске №6, том 19, 2019
МЕТОДЫ ОПТИМИЗАЦИИ ИСХОДНЫХ ОПТИЧЕСКИМ СХЕМ ЛИТОГРАФИЧЕСКИХ ОБЪЕКТИВОВ
(на англ. яз.)
Статья опубликована в выпуске №6, том 19, 2019