Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
Демиденко Алексей Александрович
Место работы: Научно-исследовательский и технологический институт оптического материаловедения, ГОИ
Гатчин Ю. А., Крутов М. А., Миронов И. А., Рейтеров В. М., Гарибин Е. А., Демиденко А. А. ФТОРИД КАЛЬЦИЯ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ
Статья опубликована в выпуске №4, том 08, 2008
Статья опубликована в выпуске №4, том 08, 2008