ФТОРИД КАЛЬЦИЯ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ

Гатчин Ю.А., Крутов М.А., Миронов И.А., Рейтеров В.М., Гарибин Е.А., Демиденко А.А.



Аннотация

Совершенствование технологии выращивания монокристаллов фторида кальция: получения наилучших характеристик пропускания в ВУФ-области спектра,  достижение минимальных значений двулучепреломления.




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика