Автор Миронов Игорь Алексеевич Научно-Технический Вестник информационных технологий, механики и оптики

2024 , ТОМ 24, НОМЕР 6 ( ноябрь-декабрь )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

Миронов Игорь Алексеевич

Место работы: Научно-исследовательский и технологический институт оптического материаловедения, ГОИ

Гатчин Ю. А., Крутов М. А., Миронов И. А., Рейтеров В. М., Гарибин Е. А., Демиденко А. А. ФТОРИД КАЛЬЦИЯ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ
Статья опубликована в выпуске №4, том 08, 2008

Информация 2001-2025 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.