Меню
Публикации
2025
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
Каранин Никита Сергеевич
Место работы: АО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор», Санкт-Петербург, 197046, Российская Федерация; Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация
Должность: инженер-технолог
E-mail: karanin.ns@gmail.com
ORCID: 0009-0007-5086-0833
Должность: инженер-технолог
E-mail: karanin.ns@gmail.com
ORCID: 0009-0007-5086-0833
Каранин Н. С.
Статья опубликована в выпуске №2, том 25, 2025
Исследование геометрических параметров кремниевых структур в приборном слое при изготовлении чувствительных элементов микромеханических акселерометров
Статья опубликована в выпуске №2, том 25, 2025