Menu
Publications
2025
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
Исследование структур типа Siп/к -SiO2-Si с окислами, полученными в различных режимах окисления
Read the full article
';
Abstract
В настоящей работе приводятся результаты исследования МОП-структур, полученных в различных режимах окисления. В качестве исследуемых объектов использовались МОП-структуры с поликремневым затвором и окислом, полученным при различных условиях окисления. Подложка МОП-структур представляет собой монокристаллический кремний n-типа с удельным сопротивлением 7.5 Ом-см, ориентированный в плоскости (100). Перед термическим окислением образцы проходили очистку в перекисно-аммиачном растворе и смеси серной кислоты и перекиси водорода.
