Menu
Publications
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
Структурирование поверхности монокристаллов кремния в электронной технике
Read the full article
';
Abstract
Кристаллы вообще и монокристаллы кремния, в частности, обладают идеальной периодичностью в трех измерениях. Появление даже идеальной поверхности (отсутствие механических нарушений, адсорбированных атомов и молекул, посторонних частиц или пленок) разрушает эту периодичность в одном направлении и приводит к структурным изменениям и появлению локализованных электронных и колебательных состояний.
