Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
Структурирование поверхности монокристаллов кремния в электронной технике
Аннотация
Кристаллы вообще и монокристаллы кремния, в частности, обладают идеальной периодичностью в трех измерениях. Появление даже идеальной поверхности (отсутствие механических нарушений, адсорбированных атомов и молекул, посторонних частиц или пленок) разрушает эту периодичность в одном направлении и приводит к структурным изменениям и появлению локализованных электронных и колебательных состояний.
