Некоторые особенности деградации
МОП-структур под действием γ-излучения

Skvortsov Albert Matveevich, Roman Khalestkiy

, VOLUME , NUMBER ( )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

Некоторые особенности деградации МОП-структур под действием γ-излучения

A. M. Skvortsov, R. Khalestkiy

Read the full article

Abstract

Рассматриваются особенности деградации электрофизических параметров структур на основе металлокисел-полупроводник (МОП) при воздействии гамма-излучения Co⁶⁰ в зависимости от условий термического окисления. Отмечается, что процессы деградации связаны с эффектами накопления зарядов различных знаков на дефектах границы Si-SiO₂.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License