Некоторые особенности деградации МОП-структур под действием γ-излучения

A. M. Skvortsov, R. Khalestkiy


Read the full article  ';

Abstract

Рассматриваются особенности деградации электрофизических параметров структур на основе металлокисел-полупроводник (МОП) при воздействии гамма-излучения Co60 в зависимости от условий термического окисления. Отмечается, что процессы деградации связаны с эффектами накопления зарядов различных знаков на дефектах границы Si-SiO2.




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Copyright 2001-2022 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика