Menu
Publications
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
Программно- аппаратный комплекс производственно-технологического контроля качества микро- и наноэлементной базы электроники
Read the full article
';
Abstract
В работе рассмотрены вопросы, возникающие в ходе технологического контроля при производстве микро- и наноструктур элементной базы электроники. Проведен анализ серийного образца МИИ-4. Разработаны
принципы, на основе которых можно улучшить технические характеристики МИИ-4. Рассмотрен разработанный на базе этих принципов измерительно-вычислительный комплекс. Приведены примеры его исполь-
зования.
