Программно- аппаратный комплекс производственно-технологического контроля качества микро- и наноэлементной базы электроники

Ткалич В.Л., Гатчин Ю.А., Коробейников А.Г., Папченко Б.П., Скворцов А.М.



Аннотация

 

В работе рассмотрены вопросы, возникающие в ходе технологического контроля при производстве микро- и наноструктур элементной базы электроники. Проведен анализ серийного образца МИИ-4. Разработаны
принципы, на основе которых можно улучшить технические характеристики МИИ-4. Рассмотрен разработанный на базе этих принципов измерительно-вычислительный комплекс. Приведены примеры его исполь-
зования.



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика