Исследование пострадиационного эффекта в МОП-структурах, облученных под напряжением

Смирнов Ю.В., R. Khalestkiy


Read the full article  ';

Abstract

 

Приведены результаты исследования процессов изменения электрофизических параметров МОП-структур при их выдержке при комнатной температуре после радиационного воздействия под напряже-
нием смещения на затворе различной амплитуды и полярности. Показано, что пострадиационные процессы связаны с наличием в окисле отжигаемых и неотжигаемых при комнатной температуре дефектов,
характеризующихся различным энергетическим положением в запрещенной зоне.



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Copyright 2001-2024 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика