Исследование пострадиационного эффекта в МОП-структурах, облученных под напряжением

Смирнов Ю. В., Халецкий Р. А.



Аннотация

 

Приведены результаты исследования процессов изменения электрофизических параметров МОП-структур при их выдержке при комнатной температуре после радиационного воздействия под напряже-
нием смещения на затворе различной амплитуды и полярности. Показано, что пострадиационные процессы связаны с наличием в окисле отжигаемых и неотжигаемых при комнатной температуре дефектов,
характеризующихся различным энергетическим положением в запрещенной зоне.



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика