Микромеханические резонансные датчики

Король Д.В., Петрищев М.С.


Read the full article  ';

Abstract

 

В работе проводится обзор состояния микромеханических резонансных датчиков. Рассматриваются типовые колебательные схемы, приводятся примеры датчиков – микромагнитный датчик, микрогироскоп и
микроакселерометры.



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Copyright 2001-2020 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика