Микромеханические резонансные датчики

Король Д. В., Петрищев М. С.



Аннотация

 

В работе проводится обзор состояния микромеханических резонансных датчиков. Рассматриваются типовые колебательные схемы, приводятся примеры датчиков – микромагнитный датчик, микрогироскоп и
микроакселерометры.



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика