Некоторые особенности деградации МОП-структур под действием γ-излучения

Скворцов А.М., Халецкий Р.А.



Аннотация

Рассматриваются особенности деградации электрофизических параметров структур на основе металлокисел-полупроводник (МОП) при воздействии гамма-излучения Co60 в зависимости от условий термического окисления. Отмечается, что процессы деградации связаны с эффектами накопления зарядов различных знаков на дефектах границы Si-SiO2.




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика