Некоторые особенности деградации
МОП-структур под действием γ-излучения

Скворцов Альберт Матвеевич, Халецкий Роман Александрович

2005 , ТОМ 05, НОМЕР 4 ( СЕНТЯБРЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

Некоторые особенности деградации МОП-структур под действием γ-излучения

Скворцов А.М., Халецкий Р.А.

Аннотация

Рассматриваются особенности деградации электрофизических параметров структур на основе металлокисел-полупроводник (МОП) при воздействии гамма-излучения Co⁶⁰ в зависимости от условий термического окисления. Отмечается, что процессы деградации связаны с эффектами накопления зарядов различных знаков на дефектах границы Si-SiO₂.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License