2010 , ТОМ 10, НОМЕР 5 ( СЕНТЯБРЬ-ОКТЯБРЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

УДК 621.315.592.621.382.002

ИССЛЕДОВАНИЕ ДЕФЕКТОВ СИСТЕМЫ Si/SiO2, ИНДУЦИРОВАННЫХ ЛАЗЕРНЫМ ВОЗДЕЙСТВИЕМ

Кузнецова О.В., Фам К.Т., Халецкий Р.А.

Читать статью полностью

Аннотация

Приводятся результаты исследования влияния лазерного излучения на структурные свойства системы кремний-термический окисел с использованием методов просвечивающей электронной микроскопии и локальной катодолюминесценции.

Ключевые слова:

лазерное облучение, нанокластеры кремния, система Si/SiO2

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License

Информация 2001-2025 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.