Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
![](/pic/nikiforov.jpg)
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
УДК 621.315.592.621.382.002
Кузнецова О.В., Фам К.Т., Халецкий Р.А.
Читать статью полностью
Аннотация
ИССЛЕДОВАНИЕ ДЕФЕКТОВ СИСТЕМЫ Si/SiO2, ИНДУЦИРОВАННЫХ ЛАЗЕРНЫМ ВОЗДЕЙСТВИЕМ
Читать статью полностью
![](/images/pdf.png)
Аннотация
Приводятся результаты исследования влияния лазерного излучения на структурные свойства системы кремний-термический окисел с использованием методов просвечивающей электронной микроскопии и локальной катодолюминесценции.
Ключевые слова:
лазерное облучение, нанокластеры кремния, система Si/SiO2