УДК53.084.2

РОСТ НАНОВИСКЕРА ПОД ВОЗДЕЙСТВИЕМ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА: МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ

Чивилихин С.А., Голубок А.О., Мухин И.С.


Читать статью полностью 

Аннотация

Построена математическая модель роста нановискера на поверхности проводника в вакуумной камереэлектронного сканирующего микроскопа под действием сфокусированного электронного пучка. Положительные ионы углерода, выбиваемые с поверхности камеры, захватываются полем пучка электронов. Двигаясь вдоль пучка, ионы попадают на поверхность нановискера, что и обеспечивает его рост. В работе электрическое поле и потенциал пучка электронов аппроксимированы полем и потенциалом равномерно заряженной нити. Для такой постановки задачи написано уравнение Власова, из которого вытекает уравнение движение поверхности растущего нановискера. С помощью численных методов рассчитан и визуализирован процесс роста, строится динамическая сетка, имитирующая растущей вискер – рассмотрение динамики роста во времени. Полученные данные хорошо согласуется с экспериментом.


Ключевые слова:

нановискер, математическая модель роста, уравнение движение поверхности



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика