НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
РОСТ НАНОВИСКЕРА ПОД ВОЗДЕЙСТВИЕМ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА: МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ
Читать статью полностью
Аннотация
Построена математическая модель роста нановискера на поверхности проводника в вакуумной камереэлектронного сканирующего микроскопа под действием сфокусированного электронного пучка. Положительные ионы углерода, выбиваемые с поверхности камеры, захватываются полем пучка электронов. Двигаясь вдоль пучка, ионы попадают на поверхность нановискера, что и обеспечивает его рост. В работе электрическое поле и потенциал пучка электронов аппроксимированы полем и потенциалом равномерно заряженной нити. Для такой постановки задачи написано уравнение Власова, из которого вытекает уравнение движение поверхности растущего нановискера. С помощью численных методов рассчитан и визуализирован процесс роста, строится динамическая сетка, имитирующая растущей вискер – рассмотрение динамики роста во времени. Полученные данные хорошо согласуется с экспериментом.
нановискер, математическая модель роста, уравнение движение поверхности
