УДК53.084.2

ФОРМИРОВАНИЕ ОДИНОЧНЫХ НАНОВИСКЕРОВ НА ВЕРШИНАХ ЗОНДОВ СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ

Голубок А.О., Ковров А.В., Левичев В.В., Мухин И.С., Приходько О.А.


Читать статью полностью 

Аннотация

 

В настоящее время широко распространены такие методы роста вискеров, как рост в установках молекулярно-пучковой эпитаксии, рост из газовой фазы с использованием металлорганических соединений,
выращивание вискеров методами электролиза, электропереноса, метод лазерной абляции и т.д. В данной
работе предложено расширение метода неконтролируемого самоорганизованного роста ансамбля вискеров под действием электронного пучка. Предлагаемый метод предполагает контролирование геометрии
роста и свойств вискеров. Данную технологию роста одиночных вискеров можно применять в атомно-
силовой микроскопии – создание суперзондов для исследования структур с развитым рельефом (глубокие каналы и впадины), для формирования острия при создании катодов и нанопинцетов.

Ключевые слова:

вискеры, зондовая микроскопия, кантилевер, электронная микроскопия, рост вискеров.



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика