пористый кремний, спектральная характеристика, фотодиод.

" />
УДК621.383.5

ВЛИЯНИЕ ПЛЕНКИ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ НА СПЕКТРАЛЬНУЮ ХАРАКТЕРИСТИКУ КРЕМНИЕВОГО ФОТОДИОДА

Соколов В.И., Хуинь Конг Ту


Читать статью полностью 

Аннотация

Рассмотрено влияние пленки пористого кремния, сформированной методом анодного электрохимического травления p-области, на спектральную характеристику кремниевого фотодиода. Показано, что созданный слой пористого кремния приводит к существенному увеличению спектральной чувствительности во всей области спектра. Наблюдается изменение спектральной чувствительности фотодиода во времени.


Ключевые слова:

пористый кремний, спектральная характеристика, фотодиод.



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика