Menu
Publications
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
Семенов Александр Евгеньевич
Work place: "Светлана-полупроводники"
Post: технолог предприятия "Светлана-полупроводники"
Post: технолог предприятия "Светлана-полупроводники"
Khalestkiy R., Skvortsov A. M., Семенов А. Е., Новиков С. Н., Фролкова Е. Г. Исследование структурных дефектов межслойной изоляции в КМОП ИС
The article was published in issue 4, volume 03, 2003
The article was published in issue 4, volume 03, 2003
Фролкова Е. Г., Khalestkiy R., Skvortsov A. M., Семенов А. Е., Новиков С. Н. Исследование пробивных напряжений межслойной изоляции в КМОП ИС
The article was published in issue 4, volume 03, 2003
The article was published in issue 4, volume 03, 2003