Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
Семенов Александр Евгеньевич
Место работы: "Светлана-полупроводники"
Должность: технолог предприятия "Светлана-полупроводники"
Должность: технолог предприятия "Светлана-полупроводники"
Халецкий Р. А., Скворцов А. М., Семенов А. Е., Новиков С. Н., Фролкова Е. Г. Исследование структурных дефектов межслойной изоляции в КМОП ИС
Статья опубликована в выпуске №4, том 03, 2003
Статья опубликована в выпуске №4, том 03, 2003
Фролкова Е. Г., Халецкий Р. А., Скворцов А. М., Семенов А. Е., Новиков С. Н. Исследование пробивных напряжений межслойной изоляции в КМОП ИС
Статья опубликована в выпуске №4, том 03, 2003
Статья опубликована в выпуске №4, том 03, 2003