, VOLUME , NUMBER ( )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Menu

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

Исследование структурных дефектов межслойной изоляции в КМОП ИС

R. Khalestkiy, A. M. Skvortsov, Семенов А.Е., Новиков С.Н., Фролкова Е.Г.

Read the full article

';

Abstract

В настоящей работе приведены результаты исследований пористости слоев окислов кремния, полученных термическим окислением поликристаллического кремния (Sin/к), осаждаемого на планарную структуру.

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License

Copyright 2001-2024 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.