Исследование пробивных напряжений межслойной изоляции в КМОП ИС

Фролкова Екатерина Григорьевна, Roman Khalestkiy, Skvortsov Albert Matveevich, Семенов Александр Евгеньевич, Новиков Сергей Николаевич

, VOLUME , NUMBER ( )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

Исследование пробивных напряжений межслойной изоляции в КМОП ИС

Фролкова Е.Г., R. Khalestkiy, A. M. Skvortsov, Семенов А.Е., Новиков С.Н.

Read the full article

Abstract

В настоящей работе приведены результаты исследований электрической прочности слоев окислов кремния, полученных термическим окислением поликристаллического кремния (Si₂), осаждаемого на планарную структуру. Электрическая прочность является одним из важнейших параметров диэлектрика применяемого для межслойной изоляции.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License