Химическое микроструктурирование поверхности монокристаллического кремния

Скворцов Альберт Матвеевич, Пилюгина Юлия Александровна, Толмачев Валерий Александрович

2004 , ТОМ 04, НОМЕР 3 ( МАЙ-ИЮНЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

Химическое микроструктурирование поверхности монокристаллического кремния

Скворцов А.М., Пилюгина Ю.А., Толмачев В.А.

Аннотация

В настоящее время химическое микроструктурирование (ХМС) широко применяется для создания пространственных поверхностных и объемных структур в монокристаллах кремния. Так, в полупроводниковой микроэлектронике с помощью V-образных канавок формируется изоляция элементов типа VATE и «Полипланар» в полупроводниковых микросхемах.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License