Автор Пилюгина Юлия Александровна Научно-Технический Вестник информационных технологий, механики и оптики

2024 , ТОМ 24, НОМЕР 5 ( сентябрь-октябрь )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

Пилюгина Юлия Александровна

Место работы: Университет ИТМО

Скворцов А. М., Пилюгина Ю. А., Толмачев В. А. Химическое микроструктурирование поверхности монокристаллического кремния
Статья опубликована в выпуске №3, том 04, 2004

Вейко В. П., Дышловенко С. С., Пилюгина Ю. А., Скворцов А. М. Микроструктурирование поверхности кремниевых пластин с помощью лазера
Статья опубликована в выпуске №3, том 04, 2004

Пилюгина Ю. А., Смелова А. В. Получение периодических структур глубоким анизотропным травлением для опто- и микроэлектронных устройств
Статья опубликована в выпуске №4, том 05, 2005

Информация 2001-2024 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.