Химическое микроструктурирование поверхности монокристаллического кремния

Skvortsov Albert Matveevich, Пилюгина Юлия Александровна, Tolmachov Valeriy

, VOLUME , NUMBER ( )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

Химическое микроструктурирование поверхности монокристаллического кремния

A. M. Skvortsov, Пилюгина Ю.А., V. Tolmachov

Read the full article

Abstract

В настоящее время химическое микроструктурирование (ХМС) широко применяется для создания пространственных поверхностных и объемных структур в монокристаллах кремния. Так, в полупроводниковой микроэлектронике с помощью V-образных канавок формируется изоляция элементов типа VATE и «Полипланар» в полупроводниковых микросхемах.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License