Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
![](/pic/nikiforov.jpg)
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
Микроструктурирование поверхности кремниевых пластин с помощью лазера
Аннотация
Для успешного решения практических задач по созданию устройств интегральной наноэлектроники необходим широкий фронт фундаментальных исследований по созданию новых композитных материалов и изучению их свойств. Одним из перспективных материалов наноэлектроники является композит на основе диоксида кремния с включениями нанокластеров кремния (НКК).