Микроструктурирование поверхности кремниевых пластин с помощью лазера

V. P. Veiko, Дышловенко С.С., Пилюгина Ю.А., A. M. Skvortsov


Read the full article  ';

Abstract

Для успешного решения практических задач по созданию устройств интегральной наноэлектроники необходим широкий фронт фундаментальных исследований по созданию новых композитных материалов и изучению их свойств. Одним из перспективных материалов наноэлектроники является композит на основе диоксида кремния с включениями нанокластеров кремния (НКК).




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Copyright 2001-2020 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика