Исследование структурных дефектов межслойной изоляции в КМОП ИС

Халецкий Р.А., Скворцов А.М., Семенов А.Е., Новиков С.Н., Фролкова Е.Г.



Аннотация

В настоящей работе приведены результаты исследований пористости слоев окислов кремния, полученных термическим окислением поликристаллического кремния (Sin/к), осаждаемого на планарную структуру.




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика