2003 , ТОМ 03, НОМЕР 4 ( НОЯБРЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

Исследование структурных дефектов межслойной изоляции в КМОП ИС

Халецкий Р.А., Скворцов А.М., Семенов А.Е., Новиков С.Н., Фролкова Е.Г.

Аннотация

В настоящей работе приведены результаты исследований пористости слоев окислов кремния, полученных термическим окислением поликристаллического кремния (Sin/к), осаждаемого на планарную структуру.

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License

Информация 2001-2024 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.