Исследование пробивных напряжений межслойной изоляции в КМОП ИС

Фролкова Е.Г., Халецкий Р.А., Скворцов А.М., Семенов А.Е., Новиков С.Н.



Аннотация

В настоящей работе приведены результаты исследований электрической прочности слоев окислов кремния, полученных термическим окислением поликристаллического кремния (Si2), осаждаемого на планарную структуру. Электрическая прочность является одним из важнейших параметров диэлектрика применяемого для межслойной изоляции.




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2019 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика