Исследование пробивных напряжений межслойной изоляции в КМОП ИС

Фролкова Екатерина Григорьевна, Халецкий Роман Александрович, Скворцов Альберт Матвеевич, Семенов Александр Евгеньевич, Новиков Сергей Николаевич

2003 , ТОМ 03, НОМЕР 4 ( НОЯБРЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

Исследование пробивных напряжений межслойной изоляции в КМОП ИС

Фролкова Е.Г., Халецкий Р.А., Скворцов А.М., Семенов А.Е., Новиков С.Н.

Аннотация

В настоящей работе приведены результаты исследований электрической прочности слоев окислов кремния, полученных термическим окислением поликристаллического кремния (Si₂), осаждаемого на планарную структуру. Электрическая прочность является одним из важнейших параметров диэлектрика применяемого для межслойной изоляции.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License